초정밀 서브마이크로 검사 통합 솔루션 선봬

의료 및 산업용 영상솔루션 전문기업 뷰웍스(대표 김후식)가 3월 27~29일 서울 코엑스에서 열리고 있는 ‘2024 스마트공장·자동화산업전(SF+AW 2024)’에 참가해 산업용 카메라, 엑스레이 디텍터 등 서브 마이크로 수준의 초정밀 검사에 최적화된 통합 솔루션 및 컴포넌트를 대거 선보였다고 28일 밝혔다.

뷰웍스는 전시 첫 날 한국머신비전산업전 B홀 부스에서 △산업용 카메라 15종 △산업용 렌즈(VEO Series) 20종 △엑스레이 디텍터 3종 등 초고해상도와 고속도의 차별화된 제품군을 전시했다. 특히 올해 1월 새롭게 선보인 서브 마이크로 검사 솔루션인 ‘VEO Focus’, Area Scan 카메라를 활용한 디스플레이 패널 검사 및 2차전지 표면 검사, TDI Line Scan 카메라를 활용한 인쇄회로기판 검사 등을 공개 시연, 눈길을 끌었다.

뷰웍스가 자체 개발한 ‘VEO Focus’는 고감도 산업용 카메라와 최적화된 고배율 렌즈를 조합해 서브 마이크로(Sub-Micro, 1마이크로미터 이하) 수준의 결함을 검사, 생산 수율을 극대화하는 솔루션이다. 이는 OLED · 마이크로 LED 디스플레이, 반도체 웨이퍼, 2차전지, PCB(인쇄회로기판) 결함 검사 등 대면적, 고배율의 촬영이 필요한 산업에 특화됐으며, 고객의 요구 사양에 맞춰 커스터마이징할 수 있다.

‘VEO Focus’의 구성요소인 고해상도 TDI 라인 스캔 카메라 ‘VTDI’는 뷰웍스가 독자 개발한 하이브리드 센서가 적용된 라인업이다. CCD, CMOS 센서의 장점만을 결합해 선명한 화질 구현 성능과 빠른 영상처리 속도를 겸비해 초고속 촬영 환경에서도 선명한 영상을 구현할 수 있다. 또 최적화된 렌즈 ‘VEO 시리즈’를 결합해 전체 검사 영역에서 고화질의 영상 획득이 가능하다. ‘VEO 시리즈’는 하이엔드 검사장비 시장 공략을 위해 뷰웍스가 독일 렌즈 명가 슈나이더와 함께 개발한 산업용 렌즈로, VTDI 시리즈와 결합하면 0.4마이크로미터(㎛) 수준의 미세 결함까지 검출이 가능해 검사의 정밀도를 한층 높일 수 있다.

산업용 엑스레이 디텍터 분야는 △VIVIX-V 1724DH △VIVIX-V 3131R △VIVIX-V 4343D 등 3종을 선보였다. 이 중 1724DH는 최신 패널 기술인 IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide) 적용 제품으로 인라인 검사(In-Line Inspection)에 특화된 모델이며, 전수 검사 시스템을 이루는 컴포넌트로써 공정에 적용되면 생산품의 내부 결함을 실시간으로 감지할 수 있다.

뷰웍스는 이번 전시를 통해 ‘VEO Focus’ 등 무결점 품질 검사 솔루션을 비롯해 산업용 카메라와 산업용 렌즈 시장 입지를 넓히고, 관계사 및 잠재 고객과의 네트워킹을 구축한다는 방침이다.

뷰웍스 관계자는 “디스플레이, 반도체 부분의 양적 성장 및 기술적 성장에 힘입어 서브 마이크로 검사 장비 수요가 새롭게 부상함에 따라 올해 초 초정밀 검사용 광학 솔루션을 새롭게 선보였으며, 행사 전시장에서 뷰웍스의 고도화된 머신 솔루션을 다양하게 만나볼 수 있다”고 전했다.

▲뷰웍스 산업용 카메라 및 렌즈 라인업 소개
▲뷰웍스 산업용 카메라 및 렌즈 라인업 소개
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▲서브마이크로 검사 통합 솔루션 'VEO Focus' 소개

 

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